行业应用|光谱共焦位移传感器对石墨厚度的测量
项目测量薄膜下石墨的厚度检测方案将产品平置，上下各一个探头，进行对射测厚，通过传感器软件获取产品的厚度值。1、采用D15A32R02S3的传感器。2、总厚度依次选取圈内位置测量，薄膜测量则选取石墨附近位置的薄膜厚度。测试结果1、位置1重复13次的动态重复精度为0.135微米，位置2重复13次的动态重复精度为0.053微米，位置3重复13次的动态重复精度为0.073微米，位置4重复13次的动态重复精度为0.175微米。2、产品4个位置总厚度的...
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