2021-05-17
玻璃基板的厚度可用光谱共焦测量
玻璃基板是液晶显示器件的基本部件，这是一种极平的表面浮法来生产薄玻璃片。市场上可用的玻璃基板的主要厚度为0.7mm和0.5mm，甚至更薄(如0.4mm)的工艺正在进行中。基本上，一个TFT-LCD面板需要使用两个玻璃基板，分别用作底部玻璃基板和COLOR FILTER基板。
可以提供大尺寸液晶屏只有美国康宁、旭硝子等四家，虽然玻璃基板只占TFT-LCD产品成本的6% - 7%，但技术的寡头垄断使得玻璃基板产品成为TFT-LCD上游材料的主导零部件产品。国内虹彩、东旭等自主TFT-LCD玻璃项目应得到特别支持和鼓励。
由于玻璃基板的厚度很薄，而且对厚度尺寸的控制非常严格，一般在0.01mm的公差以内，主要准确地测量玻璃厚度、翘曲和平行度。采用光谱共焦传感器可以很好的解决这一问题。由于共焦原理，高度值和厚度值可以一次采集。此外，多个传感器同时使用不仅提高了效率，还避免了接触测量造成的二次损伤。
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