2021-08-13
光谱共焦位移传感器是一种通过光学色散原理建立距离与波长间的对应关系,利用光谱仪解码光谱信息,从而获得位置信息的装置,白光LED 光源发出的光通过光纤耦合器后可以近似看作点光源,经过准直和色散物镜聚焦后发生光谱色散,在光轴上形成连续的单色光焦点,且每一个单色光焦点到被测物体的距离都不同。
当被测物处于测量范围内某一位置时,只有某一波长的光聚焦在被测面上,该波长的光由于满足共焦条件,可以从被测物表面反射回光纤耦合器并进入光谱仪,而其他波长的光在被测物面表面处于离焦状态,反射回的光在光源处的分布远大于光纤纤芯直径,所以大部分光线无法进入光谱仪。通过光谱仪解码得到光强最大处的波长值,从而测得目标对应的距离值。由于采用了共焦技术,因此该方法具有良好的层析特性,提高了分辨力,并且对被测物特性和杂散光不敏感。
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