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2019-12-28

立仪光谱共焦位移传感器选型技巧

选型步骤:先确定量程,如果是光滑表面确定一个最大可能倾角,确定样品到镜头的工作距离,选择合适的尺寸和光斑大小。


要求测镜面曲度大:优先考虑大角度的镜头。


粗糙表面:角度大、光斑小的在粗糙表面跳动小。


要求速度快:通常同等其它参数下,光斑大的光强高速度快,用大直径光纤的速度快。


要求横向分辨率高:测量微观形貌、微小缝隙沟槽、粗糙度、寻边的应用,光斑小横向分辨率高,角度大的光斑小。


不透明材料厚度测量:使用两个镜头对射。


透明材料的厚度测量:平整度高、透明度高、精度要求低的可以使用单镜头测厚,要求高的使用双边测厚。


大段差:使用大量程镜头。


精密:量程越小的传感器精度越高。


轮廓测量:使用精密运动装置搭载传感器镜头扫描测量。


内孔侧壁测量:使用转台旋转工件。


多通道并列:使用小直径镜头能多排几个镜头。


多点测量:使用多通道控制器,一拖多比较经济。


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