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2020-03-19

光谱共焦位移传感器与激光位移传感器原理比较

  光谱共焦位移传感器与激光位移传感器原理比较

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  一、光谱共焦原理


  1.一束白光(或多波长混合光)经过一个小孔,经过镜头将不同的波长聚焦到光轴上,色散地形成一条彩虹状分布带,照射到样品上,表面部分反射光反射回去。


  2.没有照射在光轴与物体表面交点的光经过分光部件,照射在另一个小孔周围被阻挡,无法照射到光谱分析仪,不会干扰测量。


  3.照射在光轴与物体表面交点的光经过分光部件,通过小孔照射到光谱分析仪。根据波长计算就可以获得镜头到被测物距离。



  二、光谱共焦原理的优点


  1.分辨率:理论上波长可以一直细分下去,理想镜头具有相当高的分辨率。


  2.温度稳定性好:镜头本身不发热,温度漂移小。对于微米以及亚微米测量,温漂是关键。


  3.自动聚焦:在量程范围内,被测物的位置上下变动时都有相应的波长的光聚焦到物体表面。


  4.横向分辨率高:从上到下总是在焦点上,测量光斑均微小,能分辨被测物上的微小轮廓变化。


  5.模块化小型化:镜头和控制器可以通过光纤连接,传输距离远,镜头可以做得很小,便于并排安装。


  6.调频抗干扰:波长是调频信号,对光强变化等调幅干扰不敏感。光纤对电磁干扰、雷电浪涌不敏感。


  7.透明材料厚度测量:当被测物透明且有两个表面,就会有两个波长的光返回得到厚度值。


  8.全息性:理论上任意一束返回光谱分析仪的光线的波长都携带了距离信息,部分光被遮挡影响小。


  9.安全性高:寿命长的LED光源,微小功率的白光,比激光对人眼安全,不受限于激光危害等级。


  10.高防护:控制器高防护等级,光纤可提供不锈钢外套版本,防止虫害鼠咬。


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