2023-07-11
项目一：测量薄膜下石墨的厚度
检测方案：
将产品平置，上下各一个探头，进行对射测厚，通过传感器软件获取产品的厚度值。
1、采用D15A32R02S3的传感器。
2、总厚度依次选取圈内位置测量，薄膜测量则选取石墨附近位置的薄膜厚度。
测试结果：
1、位置1重复13次的动态重复精度为0.135微米，位置2重复13次的动态重复精度为0.053微米，位置3重复13次的动态重复精度为0.073微米，位置4重复13次的动态重复精度为0.175微米。
2、产品4个位置总厚度的平均值-薄膜厚度的平均值=4个位置石墨平均厚度
产品清单：
项目二：测量石墨的厚度
检测方案：
将产品平置，上下各一个探头，进行对射测厚，通过传感器软件获取产品的厚度值。
1、采用D15A32R02S3的传感器。
2、石墨上随机取4个位置测试。
测试结果：
位置1重复25次的动态重复精度为0.31微米，位置2重复25次的动态重复精度为0.168微米，位置3重复25次的动态重复精度为0.052微米，位置4重复25次的动态重复精度为0.064微米。
产品清单：
